気中パーティクルカウンター(微粒子測定器)を選ぶ時に知っておきたい4つのルール

メーカー詳細

MET ONE気中パーティクルカウンターを例に、最適な微粒子測定器を提供します

クリーンルーム内の清浄度をモニタリングする上で、気中パーティクルカウンター(微粒子測定器)は欠かせません。

本ページでは、Beckman Coulter製MET ONE 気中パーティクルカウンターを例に、正しい微粒子測定器を選ぶ為の資料です。

よくある質問にもご参考になる記載がございますので、そちらも併せてご活用下さい。

選び方

資料

選び方

1.使用目的に適した 微粒子測定器を選ぶために、まず以下のルールを知っておきましょう。

ルール1: 計測したい粒子径、吸引流量、測定対象の清浄度で適切な製品が異なります。

今回、測定対象としているクリーンルームに設定した清浄度と広さをご確認ください。

 

ルール2: 粒子数はある程度多く計測すると測定精度が高くなります

粒子数を多くサンプルするには、吸引時間を長くして測定するか、吸引流量の大きな製品を選びます。

 

ルール3: 粒子数が多すぎると計数の誤差が大きくなります

パーティクルカウンターはレーザービームを粒子に当てて粒子数と粒子径を計りますが、粒子の数が多すぎると、最初の粒子を計数している間に次の粒子が来て検出が間に合わず、計数が実際より少なくなることがあります。

また重なり合った複数の粒子を 1 個と数えてしまうこともあります。
一般的にはパーティクルカウンターの吸引流量が大きい(=速い)ほど、測定可能な粒子濃度は低くなります。
予測される粒子濃度(個数)の 5 倍程度の測定可能粒子濃度の微粒子測定器を選びましょう。

 

ルール4: クリーンルームの仕様より小さな粒径のカウンターを選ぶと誤差が大きくなることがあります

0.5μm で管理しているクリーンルームに 0.1μm のパーティクルカウンターを使用すると、実際に浮遊する 0.1μm 以上の大量の粒子により 「測定可能粒子濃度」 を超えてしまう可能性があります。
その結果、測定誤差が大きくなります。 クリーンルームの仕様に合った微粒子測定器を選びましょう。

2.MET ONE気中パーティクルカウンターのご提案

これらのルールにもとづいて微粒子測定用途に適したMET ONEパーティクルカウンターをお選びください

モデル吸引流量計測粒径区分適合する清浄度
341128.3L/分0.1/0.2/0.3/0.5/1.0/5.0μmISO Class 1~4 or 5
341328.3L/分0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μmISO Class 4~8
342350L/分0.3/0.5/1.0/2.0/3.0/5.0/10μmISO Class 4~8
341528.3L/分0.5/1.0/2.0/ 3.0/5.0/10μmISO Class 5~8
342550L/分0.5/1.0/2.0/3.0/5.0/10μmISO Class 5~8
3445100L/分 0.5/1.0/2.0/3.0/5.0/10μmISO Class 5~8
HHPC2+2.83L/分0.5μm 固定と
1.0/2.0/5.0μm から任意の 2 粒径
ISO Class 5~9
HHPC3+2.83L/分0.3μm 固定と
0.5/1.0/2.0/5.0/10.0μm から任意の 2 粒径
ISO Class 5~9
HHPC6+2.83L/分0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0μm を同時測定ISO Class 5~9

【MET ONE気中パーティクルカウンター製品一覧はこちらから】

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