用途に適したパーティクルカウンターの選び方

メーカー詳細

MET ONEパーティクルカウンターを例に、最適な組み合わせを提供します

クリーンルーム内の清浄度をモニタリングする上で、パーティクルカウンターは欠かせません。

本ページでは、パーティクルカウンターの正しい選び方の為の資料です。

選び方

選び方

1.使用目的に適した MET ONE製パーティクルカウンタを選ぶために、まず以下のルールを知っておきましょう。

ルール1: 計測したい粒子径、吸引流量、測定対象の清浄度で適切な製品が異なります。

今回、測定対象としているクリーンルームに設定した清浄度と広さをご確認ください。

 

ルール2: 粒子数はある程度多く計測すると測定精度が高くなります

粒子数を多くサンプルするには、吸引時間を長くして測定するか、吸引流量の大きな製品を選びます。

 

ルール3: 粒子数が多すぎると計数の誤差が大きくなります

パーティクルカウンタはレーザービームを粒子に当てて粒子数と粒子径を計りますが、粒子の数が多すぎると、最初の粒子を計数している間に次の粒子が来て検出が間に合わず、計数が実際より少なくなることがあります。また重なり合った複数の粒子を 1 個と数えてしまうこともあります。一般的にはパーティクルカウンタの吸引流量が大きい(=速い)ほど、測定可能な粒子濃度は低くなります。予測される粒子濃度(個数)の 5 倍程度の測定可能粒子濃度のカウンタを選びましょう。

 

ルール4: クリーンルームの仕様より小さな粒径のカウンタを選ぶと誤差が大きくなることがあります

0.5μm で管理しているクリーンルームに 0.1μm のパーティクルカウンタを使用すると、実際に浮遊する 0.1μm 以上の大量の粒子により 「測定可能粒子濃度」 を超えてしまう可能性があります。その結果、測定誤差が大きくなります。 クリーンルームの仕様に合ったカウンタを選びましょう。

2.MET ONEパーティクルカウンターのご提案

これらのルールにもとづいて用途に適したMET ONEパーティクルカウンタをお選びください

モデル吸引流量計測粒径区分適合する清浄度
341128.3L/分0.1/0.2/0.3/0.5/1.0/5.0μmISO Class 1~4 or 5
341328.3L/分0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μmISO Class 4~8
342350L/分0.3/0.5/1.0/2.0/3.0/5.0/10μmISO Class 4~8
341528.3L/分0.5/1.0/2.0/ 3.0/5.0/10μmISO Class 5~8
342550L/分0.5/1.0/2.0/3.0/5.0/10μmISO Class 5~8
3445100L/分 0.5/1.0/2.0/3.0/5.0/10μmISO Class 5~8
HHPC2+2.83L/分0.5μm 固定と
1.0/2.0/5.0μm から任意の 2 粒径
ISO Class 5~9
HHPC3+2.83L/分0.3μm 固定と
0.5/1.0/2.0/5.0/10.0μm から任意の 2 粒径
ISO Class 5~9
HHPC6+2.83L/分0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0μm を同時測定ISO Class 5~9

※MET ONEパーティクルカウンター製品についてのご詳細はこちらから

複数のパーティクルカウンタや、リモートセンサを組み合わせて複数測定個所の粒子数や温湿度のモニタリングを構築する 「清浄度集中監視システム CMS」についてはトランステックにお気軽にご相談ください。

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