Mass Flowmeters Series　4040/4140・4020/4120

速い応答速度、高い精度、低い圧力損失。エアー、O2及びN2ガス校正、精密流量測定ができます。

●測定原理

TSI熱式マスフローメーターはプラチナフイルムとサーミスタの 2つのセンサから構成されています。プラチナフィルムは、熱の変化によって流量を感知します。サーミスタセンサはガス温度を測定し、温度補償の為に使用されます。

●分野及び用途

●セットアップソフト（オプション）

●Series 4040/4140

		4140	4143	4040	4043	4045
タイプ		低流量		高流量
流量測定	範囲	0.01～20 std L/分		0～300 std L/分	0～200 std L/分	0～300 std L/分
	精度	±2%又は0.005 std L/分の大きい方		±2%又は0.05 std L/分の大きい方
	応答時間	4ms（フルスケール流量63%到達時）
インレット/アウトレット直径		6.4mm （1/4インチ）	9.525mm （3/8インチ）	22mm ISOテーパー	12.7mm （1/2インチ）	19.1mm （3/4インチ）
校正ガス		空気、O₂
表示単位		L/分、Std L/分、cm³/分、Std cm³/分		L/分、Std L/分
寸法		127X49X32mm		182X63X53mm
体積測定（RS-232出力）	範囲	0.01～99.9L
体積測定（RS-232出力）	精度	読み値の2%
圧力	測定範囲	50～199kPa
	精度	±1kPa
	応答時間	＜4ms（63%応答）
温度	測定範囲	0～50℃
	範囲	±1℃（流量 1 Std L/分以上時）
	精度	＜75ms（63%応答）
アナログ出力（流量のみ）		0～10 VDC(RS-232よりスパン調整可)
電源		7.5 VDC±1.5V、300mA（最大）
標準付属品		ACアダプタ、RS-232及びアナログインターフェイスケーブル、フィルター、取扱説明書、シリアルコマンドセットマニュアル、英文NISTトレーサーブル校正証明書
アクセサリー（オプション）		P/N 4199　　　　　バッテリパック/スタンド（単３乾電池含む） P/N 1319201　　　キャリングケース（Model 4140/4143用） P/N 1319176　　　キャリングケース（Model 4040/4043/4045用）

●Series 4020/4120

		4121	4122	4021	4024
タイプ		低流量		高流量
流量測定	範囲	0.01～20 std L/分		0～300 std L/分
	精度	±2%又は0.005 std L/分の大きい方(空気、O₂)		±2%又は0.05 std L/分の大きい方(空気、O₂)
	精度	±3%又は0.010 std L/分の大きい方(N₂)		±3%又は0.1 std L/分の大きい方(N₂)
	応答時間	4ms（フルスケール流量63%到達時）
インレット/アウトレット直径		6.4mm （1/4インチ）	9.525mm （3/8インチ）	22mm ISOテーパー	19.1mm （3/4インチ）
校正ガス		空気、O₂、N₂O、N₂	空気、O₂、N₂	空気、O₂	空気、O₂、N₂
寸法		127X49X29mm		182X63X38mm
体積測定	範囲	0.01～99.9L
体積測定	精度	読み値の2%
圧力測定		不可
温度	測定範囲	0～50℃
	範囲	±1℃（流量 1 Std L/分以上時）
	精度	＜75ms（63%応答）
アナログ出力（流量のみ）		0～4 VDC(RS-232よりスパン調整可)
入力電源		5.0 VDC±0.25V、300mA（最大）
推奨フィルタ		HEPAフィルタ
アクセサリー		RS-232及びアナログインターフェイスケーブル（mini-DIN～スズメッキ線）

無題ドキュメント