本システムは、サンプル吸引量が28.3リットル/分と2.83リットル/分の2タイプを用意しており、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインおよび製造装置内の清浄度を、各測定ポイントに設置し、連続監視データをRS-485の通信によりデータ処理ソフトウェア(PV_J)にてデータを取込むシステムです。
※データ処理ソフトウェアは、パーティクル・ビジョン・ジャパン(PV_J)の標準版とPart11対応版2種類をご用意しております。
※チューブ切替式との混在システムも可能です。
※温度、湿度、差圧、風速等のアナログ出力センサのデータ取込も可能です。
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